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文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。