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本文介绍了对平面近场测量系统探头位置精度的测试方法及过程,利用最小二乘法,对测得数据进行了处理,得出了拟合平面及其它有用数据.并对测试结果进行了分析,提出了改进近场测量精度的方法.
平面近场测量系统探头位置误差测试及分析
【摘 要】
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本文介绍了对平面近场测量系统探头位置精度的测试方法及过程,利用最小二乘法,对测得数据进行了处理,得出了拟合平面及其它有用数据.并对测试结果进行了分析,提出了改进近场
【机 构】
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航天机电集团23所
【出 处】
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中国电子学会电子机械工程分会第四届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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