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本文对采用真空感应熔炼浇铸法直接由工业硅制取多晶硅锭进行了探讨。本研究利用金相显微镜、电子探针和电感耦合等离子体发射光谱仪对制得的样品进行了金相组织、杂质分布以及纯度分析，探索了工业硅的真空感应熔炼浇铸凝固工艺,成功地制得了高纯多晶硅锭。相较于传统高纯硅的制备方法,具有环境污染轻,能耗低,效率高等特点。