【摘 要】
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当陶瓷封装的浮空金属盖板承受人体模型(Human Body Model,HBM)应力时,器件的失效电压会大幅下降,本文提出静电测试仪和实际人体等三种情况下的“火花放电诱导模型”进行失效
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京市朝阳区北土城西路3号,100029
【出 处】
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第一届全国辐射物理学术交流会(CRPS`2014)
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当陶瓷封装的浮空金属盖板承受人体模型(Human Body Model,HBM)应力时,器件的失效电压会大幅下降,本文提出静电测试仪和实际人体等三种情况下的“火花放电诱导模型”进行失效分析,并分别进行了测试和仿真,证明人体静电模型引起的浮空金属盖板和芯片之间的火花放电是导致器件的提前失效的主要原因,而引起损伤的来源是寄生电容引入的低阻抗放电电流,在三种情况下,此放电电流各有不同,器件失效的条件也有所差异.
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