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该文讨论Ｓｉ微机械加工中的凸角补偿问题，对３３℅ＫＯＨ（７５℃）腐蚀液，由三角形掩膜补偿公式推导出条形掩膜补偿公式，解决了三角形掩膜补偿占用空间过大的问题。
Si各向异性腐蚀补偿角的计算
【摘 要】
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该文讨论Ｓｉ微机械加工中的凸角补偿问题，对３３℅ＫＯＨ（７５℃）腐蚀液，由三角形掩膜补偿公式推导出条形掩膜补偿公式，解决了三角形掩膜补偿占用空间过大的问题。
【机 构】
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科学院合肥智能机械研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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