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LTCC三维MCM技术研究
LTCC三维MCM技术研究
来源 :第十四届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenruozhu
【摘 要】
:
本文介绍了LTCC3D-MCM研制过程中的隔板的制作、焊料凸点的制作、多块基板与隔板的叠装和垂直互连等工艺技术,对焊料凸点中的孔洞、基板与隔板垂直互连中的虚焊和3D-MCM不同焊
【作 者】
:
李建辉
秦先海
董兆文
蒋明
胡永达
杨邦朝
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第43研究所,合肥,230022电子科技大学,成都,610054
【出 处】
:
第十四届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
:
2005年9期
【关键词】
:
多芯片模块
电子封装
低温共烧陶瓷
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本文介绍了LTCC3D-MCM研制过程中的隔板的制作、焊料凸点的制作、多块基板与隔板的叠装和垂直互连等工艺技术,对焊料凸点中的孔洞、基板与隔板垂直互连中的虚焊和3D-MCM不同焊接区域焊料的选择进行了分析和讨论。
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