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建立了电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-AES)直接测定氧化钇,氧化钇铕共沉产品中Fe、SiO2、Mg、Al、Ca、Cr、Ni、Zn、As、Cu的含量,试样采用盐酸溶解,试验选择了合适的硅、铝分析线,优化了观测高度,雾化器流量等测定条件。结果表明:采用基体匹配法消除基体干扰后,所测元素的回收率为80%~105%,精密度小于5%。