【摘 要】
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本文利用复合磁控阴极弧技术在轴承钢基底上制备了不同周期的Cr/CrN多层和梯度结构的Cr/CrN多层,通过扫描电子显微镜观察了薄膜的厚度和表面形貌(SEM)。通过能量色散谱的
【机 构】
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大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁大连116024
【出 处】
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2014国际高能束与特种能场制造暨第五届高能束流加工技术国际学术会议
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本文利用复合磁控阴极弧技术在轴承钢基底上制备了不同周期的Cr/CrN多层和梯度结构的Cr/CrN多层,通过扫描电子显微镜观察了薄膜的厚度和表面形貌(SEM)。通过能量色散谱的薄膜进行了成分分析(EDS)。涂层结构是由X-射线衍射(XRD)测试,并通过纳米硬度测试和划痕测试表征了涂层的力学性能。同时基于晶格畸变,用XRD方法测试了涂层的残余应力,并通过ANSYS模拟分析了涂层的静态接触应力。结果表明涂层的力学性能如纳米硬度和膜基结合力等对调制周期较为敏感,而梯度结构多层的Cr/CrN涂层力学性能得到大幅度改善。涂层的残余应力随调制周期增加而降低,这与模拟的结过具有很好的一致性。但周期多层的力学性能下降严重。梯度多层中应力具有较为适中的数值,结合力大于60N,且力学性能不受影响。在梯度涂层中涂层应力和力学性能具有较好匹配。
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