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针对硅电容传感器的特点，就硅电容传感器产业化过程中的几个关键问题：静压误差、响应时间、稳定性、产业化条件提供了解决方案和工艺措施，获得显著效果。
硅电容传感器产业化中的几个关键问题
【摘 要】
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针对硅电容传感器的特点，就硅电容传感器产业化过程中的几个关键问题：静压误差、响应时间、稳定性、产业化条件提供了解决方案和工艺措施，获得显著效果。
【机 构】
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沈阳仪表科学研究院,辽宁沈阳 110043
【出 处】
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第十二届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2012年期
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