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用直流磁控溅方法用卤灯加热基片制备出了Tc～87～88K的YBCO超导薄膜。介绍了光 加热器的主要考虑及用于大面积薄膜制备的初步实验结果，对工艺中的有关问题进行了讨论。
光加热法用于YBCO薄膜淀积和处理初步实验
【摘 要】
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用直流磁控溅方法用卤灯加热基片制备出了Tc～87～88K的YBCO超导薄膜。介绍了光 加热器的主要考虑及用于大面积薄膜制备的初步实验结果，对工艺中的有关问题进行了讨论。
【机 构】
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合肥低温电子研究所(合肥)
【出 处】
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第五届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
【发表日期】
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2000年期
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