【摘 要】
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本文描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特性.探测器的厚度为100μm,300μm,450μm和1000μm,灵敏面积为Ф8和Ф12mm等不同规格.在
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,兰州,730000
【出 处】
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中国空间科学学会空间探测专业委员会第十八次学术会议
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本文描述了用平面工艺+离子注入技术制备新型空间带电粒子探测器的工艺技术及器件的特性.探测器的厚度为100μm,300μm,450μm和1000μm,灵敏面积为Ф8和Ф12mm等不同规格.在全耗尽偏压下,得到典型的反向漏电流范围为0.57～10.11nA,典型的能量分辨率为0.69﹪-0.86﹪(对241Amα粒子).在60℃高温下,器件的性能变化在空间应用的允许范围之内.
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