以檸檬酸改質活性碳之化學濾鋼去除鹼性有機微污染物

来源 :第十五届海峡两岸环境保护研讨会暨第一届资源、环境与可持续发展研究生学术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yueyinxiangzhu

【摘要】

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　　化學濾綱普遍應用於半導體積體電路製程環境的氣態微污染控制,本研究目的即針對無麈室常見之有機鹼性微污染物「甲基吡咯烷酮」 (N-methyl pyrrolidinone,NMP)之去除進行

【出处】

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第十五届海峡两岸环境保护研讨会暨第一届资源、环境与可持续发展研究生学术论坛

【发表日期】

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2012年11期

【关键词】

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甲基吡咯烷酮檸檬酸化學濾綱改質活性碳有機鹼

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　　化學濾綱普遍應用於半導體積體電路製程環境的氣態微污染控制,本研究目的即針對無麈室常見之有機鹼性微污染物「甲基吡咯烷酮」 (N-methyl pyrrolidinone,NMP)之去除進行測試.本研究以檸檬酸作為活性碳含浸溶液,活性碳上檸檬酸的批覆量隨檸檬酸之含浸液濃度越高而相對增加,含浸條件以濃度3.0 M、時間3小時效果最佳,並藉由FTIR觀察含浸過後活性碳上含有明顯之羧基團出現.

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