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材料表征和器件结构分析技术是LED产业发展必不可少的技术支撑，其技术水平直接关系到产业的研发和持续发展能力.LED具有器件尺寸小、芯片结构复杂、所涉材料种类众多和制造工艺复杂的特点.其相应的材料分析必须综合应用多种先进的微分析技术手段.本文为我们在LED器件材料分析方面应用技术研发的探索.
LED的材料表征和结构分析
【摘 要】
：
材料表征和器件结构分析技术是LED产业发展必不可少的技术支撑，其技术水平直接关系到产业的研发和持续发展能力.LED具有器件尺寸小、芯片结构复杂、所涉材料种类众多和制
【机 构】
：
复旦大学材料科学系,国家微电子材料与元器件微分析中心,上海200433
【出 处】
：
2009上海半导体材料学术年会
【发表日期】
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2009年12期
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