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H2O是影响SF6在局部放电下形成最终分解组分、组分含量及其产气速率等的重要因素之一,其影响机理及变化规律尚不完全清楚。本文利用研制的SF6局部放电分解试验平台,对含不同H2O体积分数的SF6气体进行了48h局部放电分解试验,利用气相色谱技术得到了PD下H2O对SF6各特征组分分解特性的影响规律,分析发现:H2O含量的增加会抑制CF4的生成,CO2总的含量高于CF4,对SO2F2和SOF2的生成有先促进后抑制的作用,且对SOF2的促进和抑制作用都强于SO2F2;当H2O含量较低时,随局部放电时间延长,SO2F2与SOF2的浓度比即φ(SO2F2)/φ(SOF2)逐渐减小,当H2O含量较高时,随局部放电时间的增加该比值逐渐增加。因此,利用SF6放电分解特征组分来诊断设备故障必须考虑H2O的影响。