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本文系统研究了x切铌酸锂质子交换动力学过程,得到了x切铌酸锂在200℃的纯苯甲酸中的扩散系数.研究了质子交换波导的退火过程,给出了波导结构参数随退火时间的演化过程.实验中发现,波导结构参数随退火时间变化曲线的拟合参数与退火温度和质子交换厚度密切相关.本文所得结果对于x切y传的光波导的优化设计及制作工艺有一定的参考价值.