【摘 要】
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基于线性压电理论,研究了附加微梁的压电薄膜结构中体声波的传播问题.微梁和压电薄膜结构为完美连接,同时其弯曲利用欧拉-伯努利理论进行简化.通过耦合方程的解答以及边界条件的代入,得到阻抗-频率关系,进而进一步得到频谱曲线和位移曲线.选用ZnO材料作为算例,重点分析了微梁几何尺寸(直径、长度)、物理性质(杨氏模量)等的改变以及薄膜厚度、微梁分布密度等参数的改变对波传播的影响.
【机 构】
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宁波大学机械工程与力学学院,浙江宁波315211
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基于线性压电理论,研究了附加微梁的压电薄膜结构中体声波的传播问题.微梁和压电薄膜结构为完美连接,同时其弯曲利用欧拉-伯努利理论进行简化.通过耦合方程的解答以及边界条件的代入,得到阻抗-频率关系,进而进一步得到频谱曲线和位移曲线.选用ZnO材料作为算例,重点分析了微梁几何尺寸(直径、长度)、物理性质(杨氏模量)等的改变以及薄膜厚度、微梁分布密度等参数的改变对波传播的影响.
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