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本文介绍了一种具有垂向精细调节功能的MicroPIV系统.在PI纳米位移控制器的配合下,垂直方向位移调节精度可达到10 nm.对微方形流道55 μm×20 μm中不同垂直位置处的速度分布的测量结果表明,无量纲化实验测量速度分布与三维理论预测值符合得很好,同时垂直方向无量纲最大速度也与理论结果相符.证明宽深比小于3的微管道的速度剖面的3D特征.