Si(100)表面二聚体翻转触发的自发链式反应

来源 :中国真空学会2012学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:caobing1983
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  在过去的一二十年间,人们研究了大量金属和绝缘体表面的自组装分子纳米结构,希望为电子器件的自下而上组装提供新思路.然而,从与现有工艺兼容的角度出发,工业界更希望可以直接在半导体Si(100)表面上自组装生长纳米结构.由于Si表面存在大量悬挂键,化学性质活泼,在其表面进行自组装生长纳米结构是较为困难的.2008年Polanyi等人提出了一种新方法[1],即引入保护基团,由较弱的化学相互作用进行自组装,再通过局域解离吸附反应构筑分子纳米结构.
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