【摘 要】
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本文设计了一个基于MEMS谐振器的10MHz低相噪振荡器.采用了二阶面切变模态方块谐振器.通过精确设计支撑梁的位置来最小化锚点损耗,所提出的谐振器实现了非常高的品质因数(对
【机 构】
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电子科技大学 四川省成都市高新西区西源大道2006号 611731
【出 处】
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中国电子学会电路与系统学会第二十五届年会
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本文设计了一个基于MEMS谐振器的10MHz低相噪振荡器.采用了二阶面切变模态方块谐振器.通过精确设计支撑梁的位置来最小化锚点损耗,所提出的谐振器实现了非常高的品质因数(对于T型支撑梁超过了700000).与先前更大体积的基模谐振器在相同频率下相比,二阶模态有很多的优越性,例如(1)更高的Q值;(2)更小的动态电阻RX(在间隙为0.25μm时达到了82.1Ω).所以,基于这种新谐振器设计出的振荡器表现出更低的相位噪声,达到了-156dBc/Hz@1kHz.
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