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二氧化钛薄膜作为一种重要功能薄膜材料，在半导体光催化、太阳能电池、空气净化等领域有着广泛的应用前景。在现有二氧化钛薄膜的沉积技术中，等离子体化学气相沉积(PCVD)因其具有沉积温度低、反应参数容易控制等优点而被大量采用。但PCVD技术多数都是在低气压下进行，需要昂贵的真空系统以及复杂的操作过程。