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为研究SiC衬底上β-FeSi2薄膜的生长机理,采用直流磁控溅射铁硅合金靶和硅靶共镀以及后续的快速退火热处理的方法在6H-SiC衬底上制备β-FeSi2薄膜。主要研究了退火温度对薄膜相变的影响。通过X射线衍射(XRD)对制备的薄膜样品的组分进行了表征,结果表明当退火温度低于500℃,薄膜为非晶态；当退火温度为500℃-900℃,非晶薄膜相变为B-FeSi2；且最佳退火温度为900℃；退火温度高于1OOO℃,薄膜相变为金属相的α-FeSi2。通过扫描电镜得到900℃退火5min样品的表面形貌和截面图。通过近红外分光光度计得到β-FeSi2薄膜的透射谱,采用外推法得出薄膜的光学带隙为0.88eV。