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我们延续单轴精密雷射测长与即时控制的研究，一方面增长定位控制的范围，一方面扩展系统的自由度（ｄｅｇｒｅｅ ｏｆ ｆｒｅｅｄｏｍ）。首先使用中点周期平均法消减外差式干涉仪周期性的光学非线性误差，同时利用适当的回馈机制形成一闭环控制系统（ｃｌｏｓｅ－ｌｏｏｐ ｃｏｎｔｒｏｌ），以修正压电陶瓷致动器（ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ 「ＰＺＴ」）之非线性驱动特性。结果显示：单轴定位控制系统可在总长１２μｍ的范围内，达到０．９５ｎｍ的精确度。此外，我们利用挠性结构设计二轴三次无（Ｘ、Ｙ、θ〈，ｚ〉）微动平台，建立了一个二轴三次元雷射测长与即时控制系统。利用此系统，我们在１１μｍ的驱动范围内，达到２．５ｎｍ的定位控制精确度，及１．４×１０〈’－８〉ｒａｄ的转动定向精确度。