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本文研究了金刚石研磨液在LED蓝宝石衬底研磨过程中工艺参数:研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度Ra值的影响.通过具体研磨试验得出:采用铜材质研磨盘、研磨压力3 psi、研磨盘转速80 rpm的工艺参数组合,可获取高效的材料去除速率和良好的表面粗糙度Ra值.
LED蓝宝石衬底研磨工艺研究
【摘 要】
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本文研究了金刚石研磨液在LED蓝宝石衬底研磨过程中工艺参数:研磨盘材质、研磨压力、研磨盘转速对材料去除速率和表面粗糙度Ra值的影响.通过具体研磨试验得出:采用铜材质研磨
【机 构】
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郑州磨料磨具磨削研究所有限公司,郑州450001河南工业大学,郑州450001
【出 处】
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第十八届中国超硬材料技术发展论坛
【发表日期】
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2014年10期
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