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MEMS技术一个显著的特点是工艺具有高度的选择性，基于工艺的选择性，已经发展出一系列MEMS制造技术，使得MEMS传感器的性价比大幅度提高，在手机、汽车、医疗和消费领域得到广泛应用。同样，基于MEMS的工艺选择性，也可以发展出纳米制造技术。我们将介绍基于MEMS的纳米线和纳米梁制造新方法；探讨TEM内针对机械-力-电纳米效应研究的样品制备和表征平台；最后回顾作者利用建立的制造方法研制的超高灵敏纳米线生物传感器。