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脆硬材料光学表面的波纹度对其应用的影响正在逐渐为人们所认识。该文分析了通过不同方法加工获得的表面的波纹度，初步探索了波纹度产生的原因，并提出了减小抛光中波纹度的方案。
脆硬材料光滑表面的波纹度及其产生机制初探
【摘 要】
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脆硬材料光学表面的波纹度对其应用的影响正在逐渐为人们所认识。该文分析了通过不同方法加工获得的表面的波纹度，初步探索了波纹度产生的原因，并提出了减小抛光中波纹度的方案
【机 构】
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光学国家重点实验室
【出 处】
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中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会
【发表日期】
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1997年期
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