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利用气体吸附动力学理论，分析了利用原子层沉积技术在长径比大于50的细长管状基底内表面镀制薄膜的可行性。研究表明，该技术途径是可行的，可在管道内表面镀制厚度均匀的薄膜。并建立了管状基底内表面原子层沉积模型
矩形截面细长管状基底内表面原子层沉积模型
【摘 要】
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利用气体吸附动力学理论，分析了利用原子层沉积技术在长径比大于50的细长管状基底内表面镀制薄膜的可行性。研究表明，该技术途径是可行的，可在管道内表面镀制厚度均匀的薄膜。并建立了管状基底内表面原子层沉积模型
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所表面工程技术重点实验室 兰州 730000
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年9期
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