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固体薄膜的表面能是影响固体表面性质和吸附、润湿、粘着等界面交互作用的特征性因素.因此,表面能在胶粘工艺、生物医学、摩擦器件的清洗或抗润湿等领域都有着重要的研究意义.近年来,人们已经开始研究利用含氢类金刚石(a-C:H)薄膜的抗水性和低表面能来防止在不同工业应用领域中的诸如单晶硅、陶瓷和金属表面的污染.而且,研究人员发现可以通过在无定形碳基质中注入其它元素以改变薄膜微观结构的方法来进一步降低a-C:H薄膜的表面能.例如,含氟的无定形碳薄膜具有非常低的表面自由能(20mN/m),含SiOx的无定形碳薄膜也具有低的表面自由能(23.5mN/m).本文研究 液相法制备含二氧化硅颗粒的碳纳米复合薄膜。