【摘 要】
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用sol-gel法制备了锆钛酸铅Pb(ZrTi)O(PZT)压电薄膜,用纳米压痕技术测量PZT压电薄膜的界面强度.考虑压电效应对薄膜界面强度的影响,提出弹性地基梁模型.将采用该模型测量的PZ
【机 构】
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湖南湘潭大学基础力学与材料工程研究所(湖南湘潭)
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用sol-gel法制备了锆钛酸铅Pb(Zr<,0.52>Ti<,0.48>)O<,3>(PZT)压电薄膜,用纳米压痕技术测量PZT压电薄膜的界面强度.考虑压电效应对薄膜界面强度的影响,提出弹性地基梁模型.将采用该模型测量的PZT薄膜界面强度与未考虑薄膜压电性的压痕法和划痕法的测量结果进行比较,得出结论,压电效应会降低PZT薄膜的界面强度.
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