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C-H-N体系气相淀积金刚石簿膜的非平衡定态相图
C-H-N体系气相淀积金刚石簿膜的非平衡定态相图
来源 :第三届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:okdangdang
【摘 要】
:
根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图,与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量他的理论依
【作 者】
:
刘志杰
张卫
张剑云
曹伟宝
朱鹤孙
【机 构】
:
大学电子工程系CVD研究室(上海)
【出 处】
:
第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
碳氢氮体系
气相淀积
金刚石簿膜
非平衡
定态
耦合模型理论
金刚石生长
系统压力
实验研究
激活温度
薄膜淀积
热力学
氮原子
相图
计算
含量
定量
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根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图,与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量他的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中氮原子含量对金刚石薄膜淀积条件的影响。
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