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介绍了Parylene三防膜形成机理,以及在微波器件、微机械系统、生物医学、磁性材料等方面的应用;指出了在使用过程中存在的一些问题.
Parylene三防涂层材料的应用进展
【摘 要】
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介绍了Parylene三防膜形成机理,以及在微波器件、微机械系统、生物医学、磁性材料等方面的应用;指出了在使用过程中存在的一些问题.
【机 构】
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西南电子设备研究所(成都)
【出 处】
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2004全国第十届微波集成电路与移动通信学术会议
【发表日期】
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2004年期
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