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5. 高功率脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜的初步探究

高功率脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜的初步探究

来源 :2015广东材料发展论坛——新材料与先进制造大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：illjyf

【作 者】

：

李雪萍 匡同春 曾德长 蔡盼盼 谭超林 邓阳 周克崧 

【机 构】

：

华南理工大学金属材料科学与工程系,广东广州 510640

【出 处】

：

2015广东材料发展论坛——新材料与先进制造大会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

高功率脉冲 磁控溅射制备 氮化钛薄膜 

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