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INFLUENCE OF DEPOSITION TIME ON THE PROPERTIES OF HYDROGENATED SILICON (Si∶H) THIN FILMS DEPOSITED B
【机 构】
:
SolidStateResearchLaboratory,DepartmentofPhysics,UniversityofMalaya,50603KualaLumpur,Malaysia
【出 处】
:
International Meeting on Frontiers of Physics 2009(第三届国际物理前沿
【发表日期】
:
2009年1期
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