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某大型机电设备是集机械、电子、光学、计算机等多种先进技术于一体的高科技精密设备，如何对它进行维护保养并保持良好状态是保持其性能的重要内容。该设备在贮运过程中，仓库的温湿度变化，运输过程中受到的振动、冲击，搬运过程中出现的跌落等情况，有可能造成其内部结构变化或损坏甚至报废。
基于MEMS传感器的状态信息监测微系统设计
【摘 要】
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某大型机电设备是集机械、电子、光学、计算机等多种先进技术于一体的高科技精密设备，如何对它进行维护保养并保持良好状态是保持其性能的重要内容。该设备在贮运过程中，仓库的温湿度变化，运输过程中受到的振动、冲击，搬运过程中出现的跌落等情况，有可能造成其内部结构变化或损坏甚至报废。
【机 构】
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机械工程学院纳米技术与微系统实验室,河北 石家庄 050003
【出 处】
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2015全国结构健康监测技术研讨会暨首届两岸四地结构健康监测发展论坛
【发表日期】
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2015年10期
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