纳米Si薄膜的压阻效应

来源 :中国兵工学会第九届测试技术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuxiangff
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纳米Si薄膜由大量的超微Si晶粒和大量的晶粒间界面区组成。这一特殊的结构造成纳米Si薄膜具有较大的压阻效应。该文讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用,认为纳米Si薄膜材料是一种优秀的传感器材料。
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