【摘 要】
：
有机硅改性的甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯是紫外纳米压印的常见抗蚀剂材料之一。甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯类单体属自由基聚合，反应速度快，与模具的分离能力较好，但抗刻蚀能力较差。经有机硅改性后，可提高单体的抗蚀性能、紫外光聚合的活性，提高抗蚀剂的固化性能，降低玻璃化转变温度，降低液体抗蚀剂的粘性还能保持膜的强度，降低固化膜的表面能。含有一个硅的甲基丙烯酸酯单体已有过报道，但含两个及两个以上的硅的甲基丙烯酸酯和丙
【机 构】
：
北京师范大学 化学学院，北京 100875
【出 处】
：
中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会
论文部分内容阅读
有机硅改性的甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯是紫外纳米压印的常见抗蚀剂材料之一。甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯类单体属自由基聚合，反应速度快，与模具的分离能力较好，但抗刻蚀能力较差。经有机硅改性后，可提高单体的抗蚀性能、紫外光聚合的活性，提高抗蚀剂的固化性能，降低玻璃化转变温度，降低液体抗蚀剂的粘性还能保持膜的强度，降低固化膜的表面能。含有一个硅的甲基丙烯酸酯单体已有过报道，但含两个及两个以上的硅的甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯单体从未有过报道。本文分别合成了含1至4个硅的甲基丙烯酸酯和丙烯酸酯类单体(其中含一个硅的反应过程见图1)，并对其结构、光固化性能以及固化后的表面能进行了研究。
其他文献
本文合成了以三苯胺为电子给体的苄叉烷烃酮类双光子染料， 测定了染料的光化学和光物理性质，染料的双光子吸收截面均达到1000GM以上。将染料分别和常用紫外光生酸剂N-羟基邻苯二甲酰亚胺三氟甲烷磺酸酯(NIOTf)组成双光子敏化产酸体系，测定了各生酸体系经单光子吸收敏化产酸的量子产率。利用该敏化产酸体系制备了化学增幅型正性光刻胶，用衰减全反射红外谱研究了光刻胶膜中经双光子吸收敏化产酸的催化降解过程。将
本文以异佛尔酮二异氰酸酯（IPDI）、丙烯酸羟乙酯（HEA）和松香为原料，通过三步法合成了高附着力脂肪族聚氨酯丙烯酸酯（HPUA）。采用傅立叶红外光谱仪和核磁共振仪对所合成的产物进行结构表征，并利用实时红外（FT- IR）考察了不同引发剂浓度对HPUA转化率的影响，通过激光测微仪和万能力学拉伸机分别测试HPUA和CN9001 的体积收缩率以及其在玻璃、PET、PC、PVC等基材上的附着力。结果表明
本文对具有拓展共轭结构的萘并吡喃化合物合成及其光致变色进行了研究。设计在萘并吡喃的5、6-位，以及3-位二芳甲烷上，引入取代基产生p-π共轭效应，扩大开环显色体的共轭范围；发现了甲酰苯胺基与相连的萘环保持着很好的共面性，并讨论了分子内氢键所起的作用。
本文对碳纳米管复合材料制备以及在柔性电路上的应用进行了探讨。自从1991年Slijima 发现碳纳米管以来，碳纳米管以其优异的力学和电学性能逐渐引起了人们的关注，成为化学、物理和材料等学科领域的研究热点。碳纳米管具有一维的管状结构，这种独特的结构决定了碳纳米管沿其轴向方向拥有优异的导电性能和力学柔韧性，有望在电子、信息、能源和机械等领域掀起一场新的革命。并且还由于碳纳米管的一维管状结构，所以只需要
本文合成了两种具有液晶性又具有光敏基团的高分子，光敏基团分别为查尔酮和香豆素，并通过DSC和POM对其热性能液晶性能进行了表征，并对含有光敏基团查尔酮的分子进行了光化学取向行为的研究，结果表明经线性偏振光的照射后分子能很好的取向，热处理可以使分子的取向能力得到进一步提高。
本文研究了偶氮苯胆固醇锌酞菁（Chl-azo-ZnPc ）在混合溶液中的光控可逆J聚集的异构化行为。在非极性溶剂中，Chl-azo-ZnPc表现出了稳定的J聚集体的行为；而在极性溶剂中，Chl-azo-ZnPc表现出了稳定的单体行为，酞菁分子的存在形式很稳定，通过光照等方法均不能改变。在氯仿：甲醇=50：1的混合溶剂中，Chl-azo-ZnPc首先表现出单体的行为，在经过365nm紫外光照射之后，
分子玻璃光致抗蚀剂材料因其具有单分散性、无定形性、可获得高分辨率图形及低线边缘粗糙度等优点，已受到了较大的关注。本文设计并合成了一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂材料，这种分子玻璃化合物易溶于常用的有机溶剂，同时具有良好的成膜性，其组成的i-线光致抗蚀剂的曝光成像试验获得了较高的感度和分辨率。
本文以丙烯酸六氟丁酯(G01)，丙烯酸-β-羟乙酯(HEA)，丙烯酸丁酯(BA)为共聚单体，1 ，4-二氧六环为溶剂，过氧化苯甲酰（BPO）为引发剂，正十二硫醇为链转移剂，采用溶液自由基聚合的方法合成不同单体含量的三元无规共聚物，然后对共聚物进行丙烯酰氯酯化，制备出一系列含氟聚丙烯酸酯丙烯酸酯预聚物，并研究了单体组成对光固化膜表面性能相容性的影响。结果表明，此类含氟光固化预聚物具有良好的相容性，最
本文对含碘鎓盐光产酸剂和染料增感剂的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂进行了研究。4,4 ，-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感，在365nm光照时分解产酸。尽管产生的酸与染料的胺基发生作用，依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解，但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间。基于此，将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和敏化剂组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料，在曝光量为100m
本文对影响水性UV光油光泽度因素进行了研究。光泽度是衡量水性UV光油上光品质的重要指标，对印刷品外观具有很大的影响。通过改变光油体系中预聚物和单体的种类，以及添加不同种类的流平剂，探讨了影响水性UV光油膜层光泽度的因素。结果表明，不同种类的预聚物和单体对光油膜层光泽度的影响较大。环氧类预聚物WUV和HUV制备的水性UV光油固化后膜层的光泽度较高，粘度较低的单体EOEOEA和TPGDA制备的光油固化