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应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程，采取背景扣除、基线扣除等手段，排除空气微渗透的影响，以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。
应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究
【摘 要】
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应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程，采取背景扣除、基线扣除等手段，排除空气微渗透的影响，以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。
【作 者】
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【机 构】
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Shanghai Kechuang Chromatograph Instruments Co.,Ltd.,Shanghai 201821,China
【出 处】
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全国特种气体第十六次年会
【发表日期】
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2012年5期
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