【摘 要】
：
针对多晶硅生产中碱液淋洗法废气处理工艺存在的问题,对其进行改造.增设2台备用塔——C塔和D塔。当多晶硅生产系统正常稳定运行时，开启A塔和B塔即可;当多晶硅生产系
【机 构】
：
乐山职业技术学院,四川乐山614000乐山太阳能研究院,四川乐山614000
论文部分内容阅读
针对多晶硅生产中碱液淋洗法废气处理工艺存在的问题,对其进行改造.增设2台备用塔——C塔和D塔。当多晶硅生产系统正常稳定运行时，开启A塔和B塔即可;当多晶硅生产系统不稳定，且废气量剧增时，增开C塔和D塔。增设1套冷凝分离装置。来自精馏工序、还原工序、CDI工序、氢化工序及其他工序的废气汇总后进入冷凝分离装置，控制其压力在0.3~0.5 MPa温度约-40℃，使氯硅烷(SiHCl3,SiCl4和SiH2Cl2)冷凝为液体并回收利用，而H2,N2,HCl和极少量残留的氯硅烷气体直接进入A塔和C塔内喷淋。出于安全考虑，在A塔和C塔的顶部分别增设N:管道，并通入0.3~0.5 MPa的保护N2避免空气进入塔内与SiHCl3,SiH2Cl2,H2接触。为了彻底解决原工艺中时常发生着火和爆炸的安全问题，增加1套水封装置和1根长约15 m的曲管。从B塔和D塔出来的H2,N2、残留HCl和少量H2O(水蒸汽)通过放空管进入曲管，并通过水封装置对曲管进行冷却，然后将气体排入水封装置内除掉残留HCl,H2,N2和少量H2O(水蒸汽)再经鼓泡后直接放空。改造后,废气中约有92.1％的氯硅烷被回收利用,碱液的月平均消耗量减少约500t;放空气体中有毒有害成分的质量分数由17.6％降至0.08％;着火和爆炸事故等安全问题已彻底消除,生产系统的稳定性得到改善,多晶硅的月均产量和产品合格率分别提高约13.8％和4.7％.
其他文献
本文分析了福州市农业机械化发展中存在的问题,有针对性地提出发展对策.落实科学发展观，解决思想认识的问题。加强基础设施建设，解决农机使用效率低下的问题。加大资
结合闽清县农机排气污染源情况分析,提出根据作业要求,合理选用不同的作业机具;注重动力与农机具的配套比例;农机购置补贴资金应重点向高附加值的农业机械倾斜;发展
两种煤于温和条件下在次氯酸钠水溶液中进行降解,所得水溶液经酸化后,依次用乙醚、CS2、石油醚、乙酸乙酯和苯进行分级萃取,萃取物经重氮甲烷酯化后用GC/MS分析.结
福州市作为海峡两岸经济区的省会中心城市,区位优势明显,生态环境优美,森林覆盖率高,森林旅游资源丰富.文中对福州市发展森林旅游业和榕台森林旅游交流合作的可能性
本文是作者基于多年对传统几何光学精密测量技术的应用实践以及对新型的复合光学测量技术的探索研究总结而成.在传统的几何光学测量领域,以万能测量显微镜的功能开
本文以聚醚为原料,通过傅克酰基化等反应合成了新型聚醚胺类化合物,再与溶剂油、防锈剂、金属钝化剂等复合,并通过台架试验和整车行车试验测试了其对柴油发动机燃油
现在谈论服务器虚拟化，而未来将关注桌面和应用虚拟化。受服务器虚拟化技术在创建更紧凑、高度灵活和高性价比的服务器基础设施的应用激发，该技术正炙手可热。目标市
Tung tree,Vernicia fordii (Hemsl.) Airy Shaw,is a diploid (2n=22) oil plant indigenous to China.It is distributed mainly in an area within 22°15′
通过对大型化工企业能耗情况和现有能源管理模式的分析,系统地介绍了能源管理系统的设计,主要包括能源数据集成、能源系统实时监控、能源管理软件开发和能源优化调
从中医对三叉神经痛的认识、贺氏火针具体的治疗操作方法以及所选穴位等方面对贺氏火针在原发性三叉神经痛治疗中的应用做出介绍,并通过临床典型案例加以说明.中医