CuO/Fe<,2>O<,3>多层薄膜的气敏性能

• 作 者: 焦正 张耀华
• 机 构: 科学院智能机械研究所
• 出 处: 第五届全国敏感元件与传感器学术会议
• 发表日期: 1997年期
• 关键词: 多层薄膜 气敏性能 灵敏度比 性能改善 材料性能 选择性 性能比 溶液 凝胶 结构 方法 法制 单层 测试

多层薄膜由于结构上的差异，性能与单层薄膜有明显的不同。该文采用溶液－凝胶法制备了ＣｕＯ／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层薄膜，测试了气敏性能，发现多层薄膜的气敏性能比ＣｕＯ及Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞薄膜有明显改善，对Ｃ＜，２＞Ｈ＜，５＞ＯＨ有着良好的选择性与灵敏度，但灵敏度比Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞薄膜有所下降，分析了ＣｕＯ／Ｆｅ＜，２＞Ｏ＜，３＞多层薄膜气敏性能改善的原因，并且认为多层薄膜是改善气敏材料性能的一种有效方法。