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有机膜在pH-ISFET中的应用研究

来源 :中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaolch005
【摘 要】
：
随着人们对有机材料的性质认识的深入,有机物在传感器领域的应用也不断加宽.本文以不同工艺在差分结构pH-ISFET芯片敏感区域固定了有机膜.测量结果发现,在pH1-12范围内,以电化学法制备的PPy材料pH敏感膜,对pH的响应为54mV/pH,对K+、Na+离子响应小于2mV/dec；以磁控溅射法制备的PTFE材料pH钝化膜,对pH的响应为0.13mV/pH,时漂小于1mV/h.同时,分析了有机膜的
【作 者】
：
汪祖民 韩泾鸿 任振兴 边超 陈绍凤 夏善红 
【机 构】
：
中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室(北方基地)
【出 处】
：
中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会
【发表日期】
：
2006年5期
【关键词】
：
有机膜 化学传感器 pH敏感膜 电化学法 磁控溅射法 
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　　随着人们对有机材料的性质认识的深入,有机物在传感器领域的应用也不断加宽.本文以不同工艺在差分结构pH-ISFET芯片敏感区域固定了有机膜.测量结果发现,在pH1-12范围内,以电化学法制备的PPy材料pH敏感膜,对pH的响应为54mV/pH,对K+、Na+离子响应小于2mV/dec；以磁控溅射法制备的PTFE材料pH钝化膜,对pH的响应为0.13mV/pH,时漂小于1mV/h.同时,分析了有机膜的的敏感机理及影响有机膜性能的各种因素.
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