【摘 要】
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[引言] 在极限电流型氧传感器制备过程中,由于致密扩散障碍层与电解质层的烧结温度不同,使共烧结不匹配.制备传感器的方法一般采用丝网印刷、瓷片复合等方法.但是由于这些方法使电解质层与致密扩散障碍层接触不良,或电解质层较厚,使得极限电流较低,传感器分辨率较低.本实验采用射频磁控溅射工艺,将电解质8YSZ溅射到LSM基体表面上,使YSZ颗粒在LSM基体表面上生长,在接触良好的同时进一步减小氧传感器的电解
【机 构】
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内蒙古科技大学材料与冶金学院,内蒙古包头市昆区阿尔丁大街7号,014010
【出 处】
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2015中国硅酸盐学会固态离子学分会理事会议暨第三届全国固态离子学青年学术交流会
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[引言] 在极限电流型氧传感器制备过程中,由于致密扩散障碍层与电解质层的烧结温度不同,使共烧结不匹配.制备传感器的方法一般采用丝网印刷、瓷片复合等方法.但是由于这些方法使电解质层与致密扩散障碍层接触不良,或电解质层较厚,使得极限电流较低,传感器分辨率较低.本实验采用射频磁控溅射工艺,将电解质8YSZ溅射到LSM基体表面上,使YSZ颗粒在LSM基体表面上生长,在接触良好的同时进一步减小氧传感器的电解质层厚度.
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