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【摘 要】
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该文报道了一种新型体硅结构谐振式微加速度传感器的设计与制作。该器件采和电阻热激振、压阻电桥同步检测的方法来获得信号输出，其敏感结构为高度对称的四角支撑形式，并在质量
【机 构】
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清华大学微电子学研究所(北京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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