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介绍了Ａｌ－１ｗｔ℅Ｔｉ合金靶材的制备和铝中添加钛对铝薄膜性能的影响。采用高纯铝粉和高纯钛粉混合制备成Ｔｉ＜，３＞Ａｌ中间合金。真空中频熔炼含１ｗｔ℅钛的铝钛合金，合金铸锭经加工制成靶材，靶材经直流磁控溅在硅片上成膜，经２００～４００℃／２ｈ真空处理，用ＳＥＭ观察纯铝薄膜和铝钛薄膜中的小丘，用电流恒定法阳极氧化测定以上两种薄膜的击穿场强。研究表明，钛对合金薄膜的抗腐蚀性的改善作用很明显，同时消除了绝大部分小丘，溅射成的薄膜满足薄膜晶体管（ＴＦＴ）的技术要求。