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该文在国产分子束外延设备的基础上，引进了一套RIBER的全固态源炉并尝试着进行了材料生长，获得了一些初步结果。利用三温区阀控裂解磷源炉生长子非故意掺杂的InP表面形貌良好，生长速度约0.5μm/hour，载流子浓度约为-1×10<16>cm<-3>。
固态磷源分子束外延生长研究
【摘 要】
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该文在国产分子束外延设备的基础上，引进了一套RIBER的全固态源炉并尝试着进行了材料生长，获得了一些初步结果。利用三温区阀控裂解磷源炉生长子非故意掺杂的InP表面形貌良好，生
【机 构】
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清华大学电子共程系集成光电子国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第五届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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1999年6期
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