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该文介绍了LIGA工艺的基本原理和用LIGA工艺加工可动微机械部件的过程。针对国内目前对于LIGA工艺的研究应用现状设计了一个平面叉指式微加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。对这种加速度的结构参数进行了计算和设计，并进行了有限元仿真。最后给出了一个尺寸的设计，大小约为2×2mm，检测质量厚400mm，分辨率为5.479×10<-4>。