【摘 要】
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目前，作为特殊形态材料的薄膜，已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、刀具超硬化、传感器、太阳能利用等新兴交叉学科的材料基础，并广泛渗透到当代科技的各个领域。因受到
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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目前，作为特殊形态材料的薄膜，已经成为微电子学、光电子学、磁电子学、刀具超硬化、传感器、太阳能利用等新兴交叉学科的材料基础，并广泛渗透到当代科技的各个领域。因受到维度、衬底应力、制备技术等的影响，薄膜材料的热、光、电、力、磁等物性与同质块体材料差别较大，需要精确测量才能满足科研和应用需求。本文介绍薄膜材料物性检测的系列技术，并重点介绍一种光功率检测熔化温度、晶化温度、结构相变温度的自建设备。光功率检测是利用相变前后薄膜材料对激光反射光功率的不同来定性分析薄膜相变温度，属于一种无损检测方法，在相变存储、涂层材料、光电材料及铁磁马氏体等复合功能薄膜材料的相变测试中取得了良好的效果。
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