【摘 要】
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本文研究当原子力显微镜微加工单晶硅的金刚石针尖的磨损机制以及对微加工过程的影响规律.
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本文研究当原子力显微镜微加工单晶硅的金刚石针尖的磨损机制以及对微加工过程的影响规律.
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