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本文以纳米结构的Y2O3稳定的ZrO2热喷涂粉末为原料,采用等离子喷涂法在Ti-6Al-4V合金上制备了纳米结构的热障涂层.利用扫描电镜(SEM)及扫描热显微镜(SThM)对涂层的微观组织、表面缺陷、涂层的厚度及热性能进行了分析.在实验的基础上,建立了理论模型,并对涂层及基体的热导率进行了计算.结果表明,扫描热显微镜是分析涂层结构与性能的十分有效的方法.