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开发碳化硅晶体生长炉三维电磁场、温度场数值模拟平台，研究了矩形截面(10mm×10mm)的电感线圈几何结构(轴对称结构、及非轴对称的螺旋结构)和布置参数对电磁场及温度场三维分布特性的影响规律。
碳化硅晶体生长炉三维电磁场及温度场数值模拟研究
【摘 要】
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开发碳化硅晶体生长炉三维电磁场、温度场数值模拟平台，研究了矩形截面(10mm×10mm)的电感线圈几何结构(轴对称结构、及非轴对称的螺旋结构)和布置参数对电磁场及温度场三
【机 构】
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山东省科学院能源研究所
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年期
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