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气体放电过程中的正离子碰撞主要体现在γ过程和β过程中，其中γ过程是放电得以维持的必要条件，本文基于气体放电过程中离子与中性粒子间的电荷交换碰撞及弹性散射两种主要碰撞过程，利用蒙特卡洛方法在计算机上模拟了低气压下氩气在直流放电过程中离子的运动过程，从而阐述了正离子在直流气体放电过程中所起到的决定性作用。本文采用了平板电极结构，模拟其间介质的一维放电过程，电子运动采用三维分析，气体温度为293 K，极间电压为500 V，跟踪离子运动直至其到达阴极产生阴极表面发射。其中，离子的运动轨迹利用牛顿运动学定律给出，碰撞过程采用了与能量相关的势场模型。基于此方法，获得了气体放电过程中离子的能量分布，及电压、温度对放电过程的影响。