【摘 要】
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本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氧化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在a-CN和β-CN的硬质相.复合膜的显微硬度HK=50.5-54.1GPa,
【出 处】
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'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
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本文采用DC反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氧化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在a-C<,3>N<,4>和β-C<,3>N<,4>的硬质相.复合膜的显微硬度HK=50.5-54.1GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测得临界载荷Lc=40-80N,多种刀具试用证实,该涂层具有很高的耐磨性,与未涂层和镀TiN的刀具相比,大幅度提高了刀具的耐用度.
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